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多晶矽自動化還原爐（lú）鍾罩清洗係統

時間：2016-03-09     來源： 北京www.91潔清潔（jié）設（shè）備有限公司

改良（liáng）西門子法是一種（zhǒng）化學方法，主（zhǔ）要由三氯氫（qīng）矽與氫氣在1050℃～1150℃，一定壓力下（xià）進行還原氣象沉積反應生產高純多晶（jīng）矽（guī），該工藝一直是半導體行業電子級多晶矽生產最主要的工藝方法（fǎ）。其中，還原爐和氫化爐是改良西門子法生產多（duō）晶矽的核心設備，其運行好壞直（zhí）接影響多晶矽質量及生產成本。還原爐和氫化爐為電耗（hào）較高的設備，一般企業為（wéi）降低電耗及成本，大都釆取調整工藝參數、提供進料溫度、提高冷卻（què）水溫、清洗鍾（zhōng）罩等方法，其中鍾罩清洗對多晶矽（guī）生產非常重（chóng）要（yào），如果鍾罩清洗（xǐ）不幹淨、光（guāng）潔度不夠，常常會導致矽（guī）芯擊不穿或（huò）對產品質（zhì）量汙染，因此擁（yōng）有一（yī）套完善的多晶矽還原爐清洗係統對多晶矽生產廠家顯得尤為重要。
 
多晶矽自動（dòng）化（huà）還原爐鍾罩清（qīng）洗係統
 
國內多晶矽鍾罩清洗方式多種多樣，有高壓清洗、化學（xué）溶劑低壓清洗（xǐ）、機械拋光等（děng），但大多（duō）釆用堿液中壓清洗。我們在使（shǐ）用過程中發現這些清洗方式不（bú）能將鍾罩清洗幹淨，不能滿足生產需（xū）求（qiú）。為此，北京www.91潔清潔（jié）設備有（yǒu）限公司經過研發設（shè）計並製造出了多晶矽自動化還原爐鍾罩清洗係統。
 
三（sān）維洗罐器工作狀態
 
多晶矽自動（dòng）化（huà）還原（yuán）爐鍾罩清洗係統（tǒng）是以高壓水（shuǐ）射流為動力的自驅動三維旋轉（zhuǎn）噴（pēn）頭形成360°的網狀高壓水柱噴射表麵，從而完成鍾罩內部表麵（miàn）的水力掃射，並采用專用清洗（xǐ）劑等為主要清洗液，先用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，之（zhī）後再采用高純水衝洗，最終完成清洗過程。具體特點如下（xià）：
 
多晶矽還原爐鍾罩清（qīng）洗（xǐ）前後對比
 
1、核（hé）心部件高壓（yā）泵（bèng）采用進口耐酸堿、耐高溫、全不鏽鋼的加（jiā）壓泵，清洗（xǐ）作業時三維旋轉噴頭可實現自驅動（dòng）旋轉、自動升降（jiàng）、全方位自（zì）動清洗，並可保（bǎo）證多晶（jīng）矽的純度；
 
2、利用多晶矽生產廠家的蒸汽（qì）餘熱將清洗介質加熱，從而改變原電加熱工藝；
 
3、利用多晶矽生產廠家（jiā）的廠家蒸汽餘（yú）熱，設置10萬（wàn）級空氣（qì）淨化換熱裝置代替原氮（dàn）氣電加熱幹燥還原爐（lú）體工藝；
 
4、北京德（dé）高潔（jié）清潔設備有限公司自行研發（fā）設計的自驅動旋轉升降噴（pēn）射機（jī）構可適應各規格的還原爐（lú）體；
 
5、由於清洗過程中會有氫氣和酸性物質產生，所以必須解決二次汙染（rǎn）問題（tí）。我公司自行設計（jì）的全封閉（bì）式清洗裝置可完美解決二次汙染；
 
6、設計出高壓堿液和清水的供給和分開回收裝置，並進行淨化使後序清洗水用於前序的漂洗工序，充分利用了廢水資源。
 
實（shí）際使用證明，北京www.91潔清（qīng）潔設備有（yǒu）限公司研（yán）發生產的多晶矽（guī）自動（dòng）化還原爐鍾罩清洗係統（tǒng）有效解決了生產中的實際問題，為公司節能降耗提供了有利（lì）條件，適用於（yú）在全國範圍（wéi）推廣應用。
  • 標簽：
  • 多晶矽
  • 自動化（huà）
  • 還原爐鍾罩清洗係統
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