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首頁 > 技術文章（zhāng）

多晶矽自（zì）動化還原爐鍾罩清洗係統

時間：2016-03-09     來源： 北京德（dé）高潔（jié）清潔設備有限公（gōng）司

改良（liáng）西門（mén）子法是一種化學方法，主要由三（sān）氯氫（qīng）矽與（yǔ）氫氣在1050℃～1150℃，一定（dìng）壓力下進行還原氣象沉積反應生產高純多晶矽（guī），該工（gōng）藝一直是半導體行業電子級多晶矽生產最主要的（de）工（gōng）藝方法。其中，還（hái）原爐和氫化爐是改良西門子法生產多晶矽的核（hé）心設備，其運行（háng）好壞直接影響多晶矽質（zhì）量及生產成本。還原爐和氫化（huà）爐為電耗較高的設備，一般企業（yè）為降低電耗及成本，大（dà）都釆取調整工藝參數、提供進料溫度、提高冷卻水溫、清（qīng）洗鍾罩等方法，其中鍾罩清洗對多晶矽生產非常重要，如果鍾（zhōng）罩清洗不幹淨、光潔度不夠（gòu），常常會導（dǎo）致矽芯擊不穿或（huò）對產品質量汙（wū）染，因此擁有一（yī）套完善的多晶矽還原爐清洗係統對多晶矽生產廠家顯得尤為重要。
 
多晶矽自（zì）動化還原爐鍾罩清洗係統
 
國內多晶矽鍾罩清洗方式多種多樣，有高壓清洗、化學溶（róng）劑低壓清洗、機械拋光（guāng）等，但大多釆用堿液中壓清洗。我們在使用過程中發現這些清洗方式不能將鍾罩清洗幹淨，不能滿（mǎn）足生產需求。為此，北京www.91潔清潔設備（bèi）有限公司經過研發設計並製造出了多晶矽自動（dòng）化還原爐（lú）鍾罩清洗係（xì）統。
 
三維洗罐器工作狀態
 
多（duō）晶矽自動化還原爐鍾罩清洗係統是以高壓水射流為動（dòng）力的自驅動三（sān）維（wéi）旋轉（zhuǎn）噴頭形成360°的網狀高壓水柱噴射表麵，從而完成鍾罩內（nèi）部表麵（miàn）的水（shuǐ）力掃射，並采用專用清洗劑等為主要清洗液，先用純水(去離（lí）子水或叫脫鹽水)漂洗，之後再采用高純水衝洗，最終完成清洗過（guò）程。具體特點（diǎn）如下：
 
多晶矽還原爐鍾罩清洗前後（hòu）對（duì）比
 
1、核心部件高壓泵采用進口耐酸堿、耐高溫、全不鏽鋼的加壓泵（bèng），清洗作業時三維旋轉噴頭可實現自驅動（dòng）旋轉、自（zì）動升降、全（quán）方位（wèi）自動清洗，並可保證多（duō）晶矽的純度；
 
2、利用（yòng）多晶矽生產（chǎn）廠家的蒸汽餘熱將清洗（xǐ）介質加熱，從而改變原（yuán）電加熱工藝；
 
3、利用多晶矽生產廠家的廠家蒸汽餘熱，設置10萬級空氣淨化換（huàn）熱裝置代替原氮氣電加熱幹燥還原爐體工藝；
 
4、北京www.91潔清潔設備有限公司自（zì）行研（yán）發（fā）設（shè）計的自驅動旋轉升降噴射機構可適應各規格的還原爐體；
 
5、由於清洗過程中會有（yǒu）氫氣和酸性物（wù）質（zhì）產生（shēng），所以必須解決二次汙染問（wèn）題。我公司自行設計的全封閉（bì）式清洗裝置可完美（měi）解決二次汙染；
 
6、設計出高壓堿液和清水的供給和分開回收裝（zhuāng）置，並（bìng）進行淨化使後序清洗水用於前序的漂洗工序，充分利用了（le）廢水資源。
 
實（shí）際使用證明，北京www.91潔清潔設（shè）備有限公司研發（fā）生產的多晶矽（guī）自（zì）動化還原爐鍾罩清洗係統有效解決了生產中的實際問題，為公司節能降耗提供了有利條件，適用於在全國範圍推廣應（yīng）用。
  • 標簽：
  • 多晶矽
  • 自動化
  • 還原爐鍾罩清洗係統
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