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首頁 > 技術文章

電子級多晶矽還原（yuán）爐鍾罩自動（dòng）清洗係統成功問世

時間：2017-02-27     來源： 北京www.91潔清潔設備有限公司

多晶矽是用工業矽通過化學、物理途徑提純製得，多晶矽主要用於生產單晶矽和衛星太陽能電池。單晶矽（guī）即矽半導體是（shì）多晶矽的衍生產品，是製造繼承電（diàn）路和電（diàn）子元件的優質材料，被（bèi）廣泛（fàn）應用於電子工業中。
 
還原爐沉積多晶（jīng）矽（guī）是間歇操作，一個運行周期（qī）內（nèi），矽棒不（bú）斷長大，一個運行周期結束後打開鍾罩收割矽棒。但在運行期內，基盤及鍾罩表麵均會產生一層土黃色粉末（mò），其主要（yào）成分是無定形矽。在收（shōu）割矽棒後，需要進行基盤和鍾罩（zhào）的清理，再裝矽芯進行下一個周期的化學氣相沉積。
 
多晶矽矽棒
 
還原爐鍾罩汙染物易造成內表麵熱（rè）量反射減少，使（shǐ）生產能耗增加；電極周圍汙染物降（jiàng）低了點擊的絕緣而（ér）導致運行過程中接地故障、倒棒等生產事故。而用於電子行業的多晶矽對產品質量純淨度的控製要求更高，
 
隨著我國半導體工業發展，對多晶矽純度要求越來越高，還原爐沉積環境的潔淨度（dù）就顯得特別關鍵，任何顆粒性雜質、油脂等物質餘留在爐（lú）內，都會對產品質量造（zào）成影響。那麽，如（rú）何清理能方（fāng）便快捷，同時效果更佳？
 
多晶矽還原爐清洗係統始於2009年，國內（nèi）第一（yī）家研發設計製造並獲得實用新型（xíng）專利是北京www.91潔清潔設（shè）備有（yǒu）限公（gōng）司，該公司多晶矽還原爐鍾罩清洗係統覆蓋了國內多家多晶矽生產企業。早期有高壓清（qīng）洗（xǐ）、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等，但大（dà）多釆用堿（jiǎn）液（yè）中壓清洗，這些清（qīng）洗（xǐ）方（fāng）式（shì）不僅不能將（jiāng）鍾罩清洗（xǐ）幹淨，還會損傷表麵鍍銀的（de）還原（yuán）爐鍾罩，為（wéi）攻克這一難題（tí），一款全新（xīn）的用於電子級的多晶矽（guī）還原爐鍾（zhōng）罩清洗係（xì）統應運而生。
 
電子級多晶矽還原爐（lú）鍾罩自動清洗係統特點：
 
1、多晶矽還原爐鍾罩清洗係統以水為動力，以水力自驅動三維洗罐器為噴頭，形（xíng）成360° 3D形式的網狀噴射來完成爐筒內部表麵的水（shuǐ）力掃射（shè）。
 
2、采用可（kě）以旋轉和升降的清洗吹幹執行機構，根據還原爐每個視孔鏡相對原點的相對位置進行準確定位。可自動切換不同清洗液及吹幹，通過控製（zhì）係統可對清洗、吹幹時間等（děng）進行調整。清洗時隻需一鍵操作即可，操作簡單方便。
 
3、根據還原爐底部法蘭的結構特設（shè）計升級後的清洗工作台，不僅可以滿足對內壁和視孔鏡的清洗，同時也滿足了底部法蘭的清洗。可實現對法蘭內邊緣的清洗，保證整個法蘭（lán）底部都被清洗液覆蓋，並清（qīng）洗、吹幹。
 
4、在整個還原爐的清洗過程中，清洗、幹燥中筒內形成微負壓狀態，防止清洗外溢，同時（shí）將（jiāng）底座與（yǔ）筒體下法蘭處的汙染物等一並吹掃，通過排汙管排出，從而保證了（le）整個過程不會對潔淨區（qū）造成汙染。
 
多晶矽還（hái）原（yuán）爐鍾罩清洗前後（hòu）對比（bǐ）
 
經過實際應用，多晶矽還原爐清洗（xǐ）係統整套（tào）係統可實現（xiàn）全（quán）自動化清洗操作，在一個工作平台上，一次吊裝可依次實現自動清洗烘（hōng）幹全部功能，完全實現無死角清洗，同時具有完善的聯鎖和保護功能。
  • 標簽：
  • 多（duō）晶矽
  • 還原爐鍾罩
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