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首頁（yè） > 技術文章

新型（xíng）電（diàn）子級多晶矽還原爐鍾罩（zhào）清洗係統（tǒng）

時間：2017-05-31     來源： 北京（jīng）www.91潔清潔設備有限公司

多晶矽材料是（shì）以（yǐ）工業矽為原料（liào）經一係列物理化學反應提純後達到一（yī）定（dìng）純度的電子材料（liào），其具有高純度的特（tè）點，在整個生產過程中，對產品（pǐn）質量的控製（zhì）要求（qiú）很高。在競（jìng）爭激（jī）烈市場價格越來越低的態勢下，更好的壓（yā）縮成本，也是多晶（jīng）矽生產廠家關注的重點。
 
多（duō）晶矽生產（chǎn）多采用改良西門子法（fǎ），也是用來生產半導（dǎo）體級多晶矽的主（zhǔ）要工藝方法。還原爐是改良西（xī）門（mén）子法（fǎ）的核心設（shè）備，多晶矽的矽棒就是在其中“生長”出來的（de），因（yīn）此還原爐（lú）的沉積環境（jìng）的潔淨度特別關鍵。
 
www.91潔多晶矽還（hái）原爐鍾罩清洗係統
 
在多晶矽的生產設備中，還原爐運行好壞直接影響多晶矽質量和生產成本，一般為降低耗電和成本，采（cǎi）取調整工藝參數、提供進料溫度、提高冷卻水溫度、清（qīng）洗鍾罩等方法。一套好的鍾罩清洗裝置在多晶矽生產中是非常必要的，因為鍾罩清洗的光潔度和（hé）清潔度（dù）如果不夠，會導致矽芯擊不（bú）穿（chuān）或產品（pǐn）質量汙（wū）染。
 
目（mù）前（qián）多晶矽鍾罩的清洗方式多種多樣，有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等。多晶矽還原（yuán）爐清洗係（xì）統始於2009年，www.91潔清潔設備有限公司是國內第一家研發設計製造並獲得實用新（xīn）型專利的。目前其設備應用（yòng）也是覆蓋了國內90%的多晶矽企業，為多晶矽行業提供了幾十套還原爐清洗係統。
 
經過多年（nián）來客戶（hù）的實際應用和需求，通過總結借鑒國（guó）內外鍾罩（zhào）及其它罐類清洗烘幹經驗，對汙染（rǎn）和（hé）潔淨的概念（niàn）和控（kòng）製（zhì）有了更全麵的認識。www.91潔充分發揮高壓水（shuǐ）清洗和吸除塵的技術優勢，研發半導體級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統，實現了鍾罩的（de）全自動清洗（xǐ）和烘幹（gàn）操作（zuò）。
 
1、設備性能可靠
 
www.91潔電子級多晶矽鍾罩清洗係統性能可（kě）靠（kào），核（hé）心（xīn）部件、元件和附（fù）件原裝進口。
 
2、自動化（huà）程（chéng）度高
 
自動化程度高（gāo），用PLC+觸摸屏柔性自動控製係統，能實現對還原爐鍾罩的自動（dòng）清洗和烘幹，清（qīng）洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根（gēn）據（jù）需要自行（háng）調整設定，同時具（jù）有半自動或手動功能。
 
一（yī）次吊裝在一個工作台上完成全（quán）部清洗、烘（hōng）幹過程，可實現遠程對樓下（xià）設備的控製和主要參數監控（kòng）。
 
3、安全環保
 
全密（mì）閉式清洗（xǐ）烘幹係（xì）統，使汙染物(廢氣、廢水（shuǐ）等)在（zài）受控的條件下，按設計出口排放，基本消除了對現場及操作（zuò）人員的汙染。
 
www.91潔多晶矽鍾罩清洗（xǐ）係統按防爆要求設計，加（jiā）多處安（ān）全互（hù）鎖功能(樓上（shàng）、樓下操作，缺水保（bǎo）護，壓力（lì）水超壓保護、漏電保護，水風工作互鎖等（děng）)。
 
4、適應範圍廣
 
可以在一套係統實現多種型號鍾罩的清洗烘幹，現在已經使用的有四種。
 
升級後的多晶矽還原爐鍾罩清洗係統（tǒng）可（kě）根據（jù）不同的鍾罩、不同車間廠房不同能源條件，提供個性化設計，節省了人力物力，大大降低勞動強度，這也（yě）對提高多晶矽品質產生重要意義。
  • 標簽：
  • 鍾罩
  • 多（duō）晶矽
  • 還原爐（lú）
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