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高壓清洗機在玻璃基板清洗中的(de)應用
時間:2014-11-26 來源(yuán): 北京www.91潔(jié)清潔設備有限公司
在當今的LCD顯示器生產過程中,清洗工(gōng)藝的應用是非(fēi)常重要的,例如塗膠前對ITO玻璃的清洗、顯影後對(duì)玻璃基板的(de)清洗以及磨擦工藝後對玻璃基板的清洗等。液晶顯示器的一整套製備工藝中,清洗工藝就占到了總工(gōng)作量的30%~40%。隨著液晶顯示技術的不斷(duàn)進步,清洗工藝的地位也越(yuè)來越(yuè)重要。以下是液晶顯示器的生產流程(chéng)簡圖,我們可以從中看到清洗工藝在(zài)整個工藝路線中的(de)重要性。

ITO薄膜層、TFT陣列(liè)等製備工藝過程以(yǐ)及玻璃基板的包裝、搬運、運輸(shū)和存(cún)儲過程(chéng)是玻璃(lí)基板上的主要汙染程序,其主要汙染物有塵埃粒子、纖維紙屑(xiè)、礦物油或(huò)油脂(zhī)等油,以及三氧化二鋁、二氧化矽等無(wú)機微粒(lì)和製備(bèi)過程中遺留的殘留物、水跡、手指印等。在整(zhěng)個LCD的清洗過程中,業內針對上述汙染物采用過不同的清洗方法(fǎ),一方麵是要去除玻璃基(jī)板上沾染的汙(wū)染物,避免其對液晶顯(xiǎn)示器(qì)的(de)性能造成不良的(de)影響,而另一(yī)方麵也可以起到改善玻璃基板表(biǎo)麵性能,增加其與加工過(guò)程中使用的各種材料之間的親合力。

隨著液(yè)晶生產線對清洗工藝要求越來越高,工(gōng)程師們提出了將高壓水射流技術應用於玻璃(lí)基板清(qīng)洗(xǐ)中的可(kě)能。在使用(yòng)常壓水噴淋(lín)清洗時,噴射到玻璃基板上的水在其高表麵張力的作用下,會在玻璃簡板表麵形成一層水膜。水膜和混合基(jī)板表麵上的微細顆粒和其他汙垢,這反而會對汙垢起到保護作用,後續的水則很難將這層水(shuǐ)膜衝破,因此會使清洗效率降低。而高壓(yā)水射流技術是(shì)一(yī)種新型的清洗技術,我們采用超高壓微細顆粒水(shuǐ)噴射清(qīng)洗,將水形(xíng)成大(dà)量(liàng)的(de)粒徑在幾微米到幾(jǐ)十微米的微細液滴(dī),並以極高的速度和密度連續地噴射衝(chōng)擊被清洗(xǐ)物表麵。由於(yú)這種微細顆粒(lì)的水滴不可能(néng)形成對汙垢有保護(hù)作用(yòng)的水(shuǐ)膜,因此對基(jī)板上的各種汙垢特別是微細顆粒汙垢有很好的去除效果。
將高壓清洗(xǐ)機應用到玻璃基板的清洗工(gōng)藝中,可通過將清洗液加壓到100~300bar的壓力,再通過孔徑為0.5~1.5mm的(de)微孔噴射嘴噴(pēn)出,形成高流速的微小液滴來清洗玻璃基板。實際應用表(biǎo)明(míng),高壓清洗機的應用提(tí)高了常壓噴淋(lín)清洗的洗淨力,縮短了清(qīng)洗線的長度,並且節(jiē)省了淨化(huà)空(kōng)間和DI水的使用(yòng)量。
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- 高壓清洗機
- 玻璃基板清(qīng)洗
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