新型電子（zǐ）級多晶矽還原（yuán）爐鍾罩清（qīng）洗係統
時間：2017-05-31 15:37:16作者：LeeZhou來源：www.91潔清潔設備
多晶矽材料是以工業矽為原料經一係列物理化學反應提純後達到一定（dìng）純度的電子材料，其具有高純度的特點，在整（zhěng）個生產過程中，對產品質（zhì）量的控製（zhì）要求很高。在競爭激烈市場價（jià）格越來越低的態勢下，更好的壓縮成本，也是多晶（jīng）矽（guī）生產廠家關注的重點。
多晶矽生產多（duō）采用改良西門（mén）子法，也是用來生產（chǎn）半導體級（jí）多晶矽的主要（yào）工藝方法。還原爐是改（gǎi）良西門子（zǐ）法的核（hé）心設備，多晶矽（guī）的矽棒就是在（zài）其中“生長”出來的，因此還原爐的沉積環境的潔淨度特別關鍵。
在多晶矽的生產設備中，還原爐運行好壞直接影響多晶矽質量和生產成本（běn），一般為降低耗電和成本，采取調整（zhěng）工藝參數、提供（gòng）進料溫（wēn）度、提高冷卻水溫度、清洗鍾罩等方法。一（yī）套（tào）好的鍾罩清洗裝（zhuāng）置在多晶矽生產中是非常（cháng）必要的，因為鍾罩清洗的光潔度和清潔（jié）度如果不夠，會導致矽芯擊不穿或產品質量汙染。
目（mù）前多晶矽鍾罩的清（qīng）洗方式多種多樣（yàng），有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等。多晶矽還原爐清洗係統始於2009年，www.91潔清潔設備有限公司是國內第一家研發設計製造並獲得實用新型專利的。目前其設備應用也是覆蓋了國內90%的多晶矽企（qǐ）業，為多晶矽行業提供了幾十套還（hái）原爐（lú）清洗係統。
經過（guò）多年來客戶的實際應用和需求，通過總結借鑒國內外鍾罩及其它罐類清洗烘幹經驗，對汙染和潔淨的概（gài）念和控製有了更全麵的認識。www.91潔充分發揮高（gāo）壓水清洗和吸除塵的技術（shù）優（yōu）勢，研（yán）發半導體級多晶矽（guī）還原爐鍾罩清洗係統，實（shí）現了鍾罩的全自動清洗和烘幹操（cāo）作。
1、設備性能可靠
德（dé）高潔電子級多晶矽鍾罩（zhào）清洗係統性能（néng）可靠，核心部件、元件和附件原（yuán）裝（zhuāng）進口。
2、自動化程度高
自動（dòng）化程度高（gāo），用PLC+觸摸屏柔性自動控製係統，能實現對還原爐（lú）鍾罩的（de）自動清洗和（hé）烘幹，清洗烘幹時間、溫度（dù）、清（qīng）洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調（diào）整設定（dìng），同時具有半自動或手動功能。
一次吊（diào）裝在一個工作台上完成全（quán）部清洗、烘幹過程，可實現遠程對樓（lóu）下設備的控製和主要參數監控。
3、安（ān）全環保
全密閉式清洗烘幹係統，使（shǐ）汙（wū）染物(廢氣、廢水（shuǐ）等)在受控的條件下，按設（shè）計出口排放，基本消除了對現場及操作人員（yuán）的汙染。
www.91潔多（duō）晶矽鍾罩清洗係統按防爆要（yào）求設計，加多處（chù）安全互鎖功能(樓上、樓下操作，缺水保護，壓力水超壓保（bǎo）護、漏電（diàn）保（bǎo）護，水風工作互鎖等)。
4、適應範圍（wéi）廣
可以在（zài）一套係統實現多種型號鍾罩的（de）清洗烘幹，現在已經使用的有四（sì）種。
升級後的多晶矽還原爐（lú）鍾罩清洗係統可根據不同的鍾罩、不同車間廠（chǎng）房不同能源條件（jiàn），提供個性化設計，節省了人力物力，大大降低勞動強度，這也對提高（gāo）多晶矽品質產生重要意義。
多晶矽生產多（duō）采用改良西門（mén）子法，也是用來生產（chǎn）半導體級（jí）多晶矽的主要（yào）工藝方法。還原爐是改（gǎi）良西門子（zǐ）法的核（hé）心設備，多晶矽（guī）的矽棒就是在（zài）其中“生長”出來的，因此還原爐的沉積環境的潔淨度特別關鍵。
在多晶矽的生產設備中，還原爐運行好壞直接影響多晶矽質量和生產成本（běn），一般為降低耗電和成本，采取調整（zhěng）工藝參數、提供（gòng）進料溫（wēn）度、提高冷卻水溫度、清洗鍾罩等方法。一（yī）套（tào）好的鍾罩清洗裝（zhuāng）置在多晶矽生產中是非常（cháng）必要的，因為鍾罩清洗的光潔度和清潔（jié）度如果不夠，會導致矽芯擊不穿或產品質量汙染。
目（mù）前多晶矽鍾罩的清（qīng）洗方式多種多樣（yàng），有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等。多晶矽還原爐清洗係統始於2009年，www.91潔清潔設備有限公司是國內第一家研發設計製造並獲得實用新型專利的。目前其設備應用也是覆蓋了國內90%的多晶矽企（qǐ）業，為多晶矽行業提供了幾十套還（hái）原爐（lú）清洗係統。
經過（guò）多年來客戶的實際應用和需求，通過總結借鑒國內外鍾罩及其它罐類清洗烘幹經驗，對汙染和潔淨的概（gài）念和控製有了更全麵的認識。www.91潔充分發揮高（gāo）壓水清洗和吸除塵的技術（shù）優（yōu）勢，研（yán）發半導體級多晶矽（guī）還原爐鍾罩清洗係統，實（shí）現了鍾罩的全自動清洗和烘幹操（cāo）作。
1、設備性能可靠
德（dé）高潔電子級多晶矽鍾罩（zhào）清洗係統性能（néng）可靠，核心部件、元件和附件原（yuán）裝（zhuāng）進口。
2、自動化程度高
自動（dòng）化程度高（gāo），用PLC+觸摸屏柔性自動控製係統，能實現對還原爐（lú）鍾罩的（de）自動清洗和（hé）烘幹，清洗烘幹時間、溫度（dù）、清（qīng）洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調（diào）整設定（dìng），同時具有半自動或手動功能。
一次吊（diào）裝在一個工作台上完成全（quán）部清洗、烘幹過程，可實現遠程對樓（lóu）下設備的控製和主要參數監控。
3、安（ān）全環保
全密閉式清洗烘幹係統，使（shǐ）汙（wū）染物(廢氣、廢水（shuǐ）等)在受控的條件下，按設（shè）計出口排放，基本消除了對現場及操作人員（yuán）的汙染。
www.91潔多（duō）晶矽鍾罩清洗係統按防爆要（yào）求設計，加多處（chù）安全互鎖功能(樓上、樓下操作，缺水保護，壓力水超壓保（bǎo）護、漏電（diàn）保（bǎo）護，水風工作互鎖等)。
4、適應範圍（wéi）廣
可以在（zài）一套係統實現多種型號鍾罩的（de）清洗烘幹，現在已經使用的有四（sì）種。
升級後的多晶矽還原爐（lú）鍾罩清洗係統可根據不同的鍾罩、不同車間廠（chǎng）房不同能源條件（jiàn），提供個性化設計，節省了人力物力，大大降低勞動強度，這也對提高（gāo）多晶矽品質產生重要意義。
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