www.91潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統成為首選清潔工藝
時間:2016-04-27 14:17:06作者:LeeZhou來源:www.91(gāo)潔清潔設備
多晶矽,是單質矽的一種形態,多晶矽材料是光伏(fú)產(chǎn)業的基礎。在生產中,還原(yuán)爐每運行一個周期,其內表麵都會殘留無定形矽,同時含有氯矽烷水(shuǐ)解物及其他粉(fěn)塵雜質。因(yīn)此每運行一個周期需要采用清洗液,並根據(jù)殘(cán)留物分布情況對還原爐基盤和鍾罩分別采用特定的清理工(gōng)藝進(jìn)行處理。還原工藝是多晶(jīng)矽生產的關(guān)鍵工藝,其工藝條件和參數(shù)控製好壞直接影(yǐng)響產品質量和產量。

多(duō)晶矽在整(zhěng)個生產(chǎn)過程中,對產品質量的控製要求很高,對還原爐的沉積環境的潔淨度要求特(tè)別關鍵,任何顆粒性雜質、油脂等物質餘(yú)留(liú)在爐內,都會對產品質量造成影響。北京www.91(gāo)潔清(qīng)潔設備有限公司(sī)經過研發設計並製造出了多(duō)晶矽自動化(huà)還原(yuán)爐(lú)鍾罩清洗係統,可(kě)以完全將多晶矽還原爐鍾罩(zhào)清(qīng)洗幹淨,滿足生產需(xū)求。
www.91潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統(tǒng)是以高壓清洗機為(wéi)主機,以高壓水射流為動力的自驅動三維旋轉噴頭(tóu)形成360°的網狀高(gāo)壓水柱噴射表麵,從而完成鍾罩內部表麵的水力掃射,並采用專用清(qīng)洗劑等為(wéi)主要清洗液,先用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗(xǐ),之後再采用高純(chún)水衝洗,最終完(wán)成清洗過程。
目前國內多晶矽鍾罩(zhào)清洗方主(zhǔ)要有高壓清洗、化(huà)學溶劑低(dī)壓清洗、機械(xiè)拋光等清洗方(fāng)法,但www.91潔多晶矽(guī)還原爐鍾罩清洗係統更具特點:

1、核心部件高壓泵(bèng)采(cǎi)用進口耐酸(suān)堿、耐高溫(wēn)、全不鏽鋼的加壓泵,清洗作業時三(sān)維(wéi)旋(xuán)轉噴(pēn)頭可實現自驅動旋(xuán)轉、自動升降、全方位自動清洗,並可保證多晶矽的純度;
2、利用多晶(jīng)矽(guī)生產廠家的蒸汽餘熱將清洗(xǐ)介質加熱,從而改變原電加熱(rè)工藝;
3、利用多晶矽生產廠家的(de)廠家蒸汽餘熱,設置10萬級(jí)空(kōng)氣淨化(huà)換(huàn)熱裝置代替原氮氣電加(jiā)熱幹燥還(hái)原爐體工藝;
4、北京www.91潔清潔設備有限公司(sī)自行研(yán)發設計的自驅動旋轉升降噴(pēn)射機構可適應各規格的還原爐體;
5、由於清洗過程(chéng)中會有氫氣和酸性物質產(chǎn)生(shēng),所以必須解決二次汙染問(wèn)題。我公司自行設計的(de)全封閉(bì)式清洗裝(zhuāng)置可完美解決(jué)二次汙(wū)染;
6、設計出高壓堿液和清水的供給(gěi)和分開回收裝置,並進行淨化使後序清洗水用於(yú)前序的漂洗工序,充分利用了廢水資源。
還原爐沉積多晶(jīng)矽(guī)是間歇操作,一個運行周期結束後(hòu)需要打開鍾罩收割(gē)矽棒,然後進行(háng)基盤清理,再裝矽(guī)芯(xīn)進行下(xià)一個周期的(de)化學氣(qì)相沉積。北京www.91潔清潔設備有限公司研發生產的多晶矽自動化還原爐鍾罩清洗係(xì)統有效解決了生產(chǎn)中的實(shí)際問題(tí),方便、快捷、處理效果好,目前(qián)已(yǐ)成為多晶矽還原爐鍾罩(zhào)清(qīng)潔(jié)的首選。

多(duō)晶矽在整(zhěng)個生產(chǎn)過程中,對產品質量的控製要求很高,對還原爐的沉積環境的潔淨度要求特(tè)別關鍵,任何顆粒性雜質、油脂等物質餘(yú)留(liú)在爐內,都會對產品質量造成影響。北京www.91(gāo)潔清(qīng)潔設備有限公司(sī)經過研發設計並製造出了多(duō)晶矽自動化(huà)還原(yuán)爐(lú)鍾罩清洗係統,可(kě)以完全將多晶矽還原爐鍾罩(zhào)清(qīng)洗幹淨,滿足生產需(xū)求。
www.91潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統(tǒng)是以高壓清洗機為(wéi)主機,以高壓水射流為動力的自驅動三維旋轉噴頭(tóu)形成360°的網狀高(gāo)壓水柱噴射表麵,從而完成鍾罩內部表麵的水力掃射,並采用專用清(qīng)洗劑等為(wéi)主要清洗液,先用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗(xǐ),之後再采用高純(chún)水衝洗,最終完(wán)成清洗過程。
目前國內多晶矽鍾罩(zhào)清洗方主(zhǔ)要有高壓清洗、化(huà)學溶劑低(dī)壓清洗、機械(xiè)拋光等清洗方(fāng)法,但www.91潔多晶矽(guī)還原爐鍾罩清洗係統更具特點:

1、核心部件高壓泵(bèng)采(cǎi)用進口耐酸(suān)堿、耐高溫(wēn)、全不鏽鋼的加壓泵,清洗作業時三(sān)維(wéi)旋(xuán)轉噴(pēn)頭可實現自驅動旋(xuán)轉、自動升降、全方位自動清洗,並可保證多晶矽的純度;
2、利用多晶(jīng)矽(guī)生產廠家的蒸汽餘熱將清洗(xǐ)介質加熱,從而改變原電加熱(rè)工藝;
3、利用多晶矽生產廠家的(de)廠家蒸汽餘熱,設置10萬級(jí)空(kōng)氣淨化(huà)換(huàn)熱裝置代替原氮氣電加(jiā)熱幹燥還(hái)原爐體工藝;
4、北京www.91潔清潔設備有限公司(sī)自行研(yán)發設計的自驅動旋轉升降噴(pēn)射機構可適應各規格的還原爐體;
5、由於清洗過程(chéng)中會有氫氣和酸性物質產(chǎn)生(shēng),所以必須解決二次汙染問(wèn)題。我公司自行設計的(de)全封閉(bì)式清洗裝(zhuāng)置可完美解決(jué)二次汙(wū)染;
6、設計出高壓堿液和清水的供給(gěi)和分開回收裝置,並進行淨化使後序清洗水用於(yú)前序的漂洗工序,充分利用了廢水資源。
還原爐沉積多晶(jīng)矽(guī)是間歇操作,一個運行周期結束後(hòu)需要打開鍾罩收割(gē)矽棒,然後進行(háng)基盤清理,再裝矽(guī)芯(xīn)進行下(xià)一個周期的(de)化學氣(qì)相沉積。北京www.91潔清潔設備有限公司研發生產的多晶矽自動化還原爐鍾罩清洗係(xì)統有效解決了生產(chǎn)中的實(shí)際問題(tí),方便、快捷、處理效果好,目前(qián)已(yǐ)成為多晶矽還原爐鍾罩(zhào)清(qīng)潔(jié)的首選。
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