www.91潔多(duō)晶矽還原爐鍾(zhōng)罩清洗係統成為首選清潔工藝(yì)
時間:2016-04-27 14:17:06作者:LeeZhou來源:www.91潔清潔設(shè)備
多晶(jīng)矽,是單質(zhì)矽的一種形態,多晶矽材料是光伏產業的基礎。在生產中,還原爐每運行一個周期,其內表麵都會(huì)殘留無定形矽,同時含有氯矽烷水解(jiě)物及(jí)其他粉塵雜質。因此每運行一個(gè)周期需要采用清(qīng)洗液,並(bìng)根據殘留(liú)物分布(bù)情況對還原爐基盤和鍾罩(zhào)分別采用特定的(de)清理工藝進行處(chù)理。還原工藝是多(duō)晶矽生產的關鍵工(gōng)藝,其工(gōng)藝條件和參數控製好壞直接影響產品質量和產量。

多晶矽在整個生產(chǎn)過程中,對產品質量的控製要求很高(gāo),對還原爐的沉積環境的潔淨度要求特別(bié)關鍵,任何顆粒性雜質、油脂等物質(zhì)餘留在爐內,都會對(duì)產品質量造成影響。北京www.91潔清潔(jié)設備有(yǒu)限公司經過研發設計並製造出(chū)了(le)多晶矽自動(dòng)化還原爐鍾罩清洗係統,可以完全將多晶矽還原爐鍾罩清洗幹淨,滿足生產需求。
www.91潔多晶矽還原(yuán)爐鍾罩清(qīng)洗係統(tǒng)是以高壓清(qīng)洗機為主機,以高壓水射流為動力的(de)自驅動三維旋轉噴頭形成360°的網狀高壓水柱噴射(shè)表麵,從而完成鍾罩內部表麵的水力掃射,並采(cǎi)用專用清洗劑等為主要清洗(xǐ)液,先用純(chún)水(去離子水或叫脫(tuō)鹽水)漂洗,之(zhī)後再采(cǎi)用高(gāo)純水衝洗,最終完成清洗過(guò)程。
目前國內(nèi)多晶矽鍾罩清洗方主要有高壓清洗、化學溶劑低壓(yā)清洗、機械拋光等清洗(xǐ)方法(fǎ),但www.91潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統(tǒng)更具特(tè)點:

1、核心部件高壓泵采用進口耐酸堿、耐高溫、全不鏽鋼的加壓泵,清洗作業時三維旋轉噴頭可實現自驅動旋轉、自動升降、全方位自動清洗,並(bìng)可保證多晶(jīng)矽的純度;
2、利用多晶矽生產廠家的蒸汽餘熱將清洗(xǐ)介(jiè)質加熱,從(cóng)而改(gǎi)變原電加熱工藝;
3、利用多晶矽生產(chǎn)廠家的廠家蒸汽餘熱(rè),設置10萬級空氣淨化換熱裝置代替原氮(dàn)氣電加熱幹燥還(hái)原爐體工藝;
4、北(běi)京www.91潔清潔設備有限(xiàn)公司自行研發設(shè)計的自驅動旋轉升降噴射機構可適應各規格的還原爐體;
5、由於清洗過程(chéng)中(zhōng)會有氫氣和酸性物質產生,所以必須解決二次汙染問題。我公司自行設計的全封閉式清洗裝置可完美解決二次汙染;
6、設計出高壓堿液和清水的供給和分開回收裝置,並進(jìn)行淨化使後序清洗水用於前序的漂洗工序,充分利(lì)用了廢水資源。
還(hái)原(yuán)爐沉積多(duō)晶矽是間(jiān)歇操(cāo)作,一個(gè)運行(háng)周期結束後需要打開(kāi)鍾罩收割矽棒,然後進行基盤清理,再裝矽芯進行(háng)下一個周期的化學氣相沉積。北(běi)京www.91潔清潔設備(bèi)有(yǒu)限公司研發生產的多晶矽(guī)自動化還原(yuán)爐鍾罩清洗係統有效解決了(le)生產中的實際問(wèn)題,方便、快捷、處理效果好,目前已成為多晶矽還(hái)原爐鍾罩清潔的首選。

多晶矽在整個生產(chǎn)過程中,對產品質量的控製要求很高(gāo),對還原爐的沉積環境的潔淨度要求特別(bié)關鍵,任何顆粒性雜質、油脂等物質(zhì)餘留在爐內,都會對(duì)產品質量造成影響。北京www.91潔清潔(jié)設備有(yǒu)限公司經過研發設計並製造出(chū)了(le)多晶矽自動(dòng)化還原爐鍾罩清洗係統,可以完全將多晶矽還原爐鍾罩清洗幹淨,滿足生產需求。
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目前國內(nèi)多晶矽鍾罩清洗方主要有高壓清洗、化學溶劑低壓(yā)清洗、機械拋光等清洗(xǐ)方法(fǎ),但www.91潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統(tǒng)更具特(tè)點:

1、核心部件高壓泵采用進口耐酸堿、耐高溫、全不鏽鋼的加壓泵,清洗作業時三維旋轉噴頭可實現自驅動旋轉、自動升降、全方位自動清洗,並(bìng)可保證多晶(jīng)矽的純度;
2、利用多晶矽生產廠家的蒸汽餘熱將清洗(xǐ)介(jiè)質加熱,從(cóng)而改(gǎi)變原電加熱工藝;
3、利用多晶矽生產(chǎn)廠家的廠家蒸汽餘熱(rè),設置10萬級空氣淨化換熱裝置代替原氮(dàn)氣電加熱幹燥還(hái)原爐體工藝;
4、北(běi)京www.91潔清潔設備有限(xiàn)公司自行研發設(shè)計的自驅動旋轉升降噴射機構可適應各規格的還原爐體;
5、由於清洗過程(chéng)中(zhōng)會有氫氣和酸性物質產生,所以必須解決二次汙染問題。我公司自行設計的全封閉式清洗裝置可完美解決二次汙染;
6、設計出高壓堿液和清水的供給和分開回收裝置,並進(jìn)行淨化使後序清洗水用於前序的漂洗工序,充分利(lì)用了廢水資源。
還(hái)原(yuán)爐沉積多(duō)晶矽是間(jiān)歇操(cāo)作,一個(gè)運行(háng)周期結束後需要打開(kāi)鍾罩收割矽棒,然後進行基盤清理,再裝矽芯進行(háng)下一個周期的化學氣相沉積。北(běi)京www.91潔清潔設備(bèi)有(yǒu)限公司研發生產的多晶矽(guī)自動化還原(yuán)爐鍾罩清洗係統有效解決了(le)生產中的實際問(wèn)題,方便、快捷、處理效果好,目前已成為多晶矽還(hái)原爐鍾罩清潔的首選。
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