多晶矽（guī）自動（dòng）化還原（yuán）爐鍾罩清洗係（xì）統（tǒng）

改良西門子法是一種化（huà）學方法，主要由三氯氫（qīng）矽與（yǔ）氫氣在（zài）1050℃～1150℃，一定壓力下（xià）進行還原氣象沉積（jī）反（fǎn）應（yīng）生產高（gāo）純多晶矽，該工藝一直是半導體行業電子級（jí）多晶矽生產最主要（yào）的工藝方法。其中，還原爐和氫化爐是改良西門子法生產多晶（jīng）矽的核心設備（bèi），其運行好壞直接影（yǐng）響多晶矽質量及生產成本。還原爐和氫化爐（lú）為電耗較高的設備，一（yī）般企業為降低電耗及成本，大都釆取調整工藝參（cān）數、提（tí）供進料（liào）溫度、提高（gāo）冷卻（què）水（shuǐ）溫、清洗鍾罩等方（fāng）法，其中鍾罩清洗對多晶（jīng）矽生產非常重要，如果鍾罩清洗不幹淨、光潔度不夠，常常會導致矽芯擊不穿或對產品質量汙染，因此擁有一套完善的多晶矽還原爐清洗（xǐ）係統（tǒng）對多晶矽生產（chǎn）廠家顯得尤為重要（yào）。
 
國（guó）內多晶矽鍾罩清洗方式（shì）多種多（duō）樣，有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等，但大（dà）多釆用（yòng）堿液中壓清洗。我們（men）在（zài）使用過程中發（fā）現這些清洗方式不能將鍾罩清洗幹淨，不能滿足生產需求。為此，北京www.91潔清潔設備有限公司（sī）經過研發（fā）設計並（bìng）製造出了（le）多晶矽自動化還原爐鍾罩清洗係統。
 
多晶矽（guī）自動化還原爐鍾罩清洗（xǐ）係（xì）統是以高壓水射流為動（dòng）力（lì）的自驅動三維旋轉（zhuǎn）噴頭形成360°的網狀高壓水柱（zhù）噴射表（biǎo）麵，從而完成鍾罩內部表麵的（de）水力掃射，並采用專用清洗劑等為（wéi）主要清（qīng）洗液，先用純水(去離（lí）子（zǐ）水或叫脫鹽水)漂洗，之後再采用高純水衝洗，最終完成清洗過程。具體特點（diǎn）如下：
 
1、核心部件高壓泵采用進口耐酸堿、耐高溫、全不鏽鋼的加（jiā）壓泵，清洗作業時三維旋轉（zhuǎn）噴頭可實現自驅動旋轉、自動升降、全方位自動清洗，並可保證多晶矽的純度；

2、利用多晶矽生產（chǎn）廠家的蒸汽餘熱將清洗介質（zhì）加熱，從而改變原電加熱工藝；

3、利用多晶矽生（shēng）產廠家的廠家（jiā）蒸汽餘熱（rè），設置（zhì）10萬級（jí）空氣淨化（huà）換熱裝置代替（tì）原氮氣（qì）電加熱幹燥還原爐體工藝（yì）；

4、北京www.91潔清潔設備有限公司自行研（yán）發設計的自驅動旋（xuán）轉升降噴射機構可適應各規格的還原爐（lú）體；

5、由於清洗（xǐ）過程中會有（yǒu）氫氣和酸性物質（zhì）產（chǎn）生，所以必須解決二次汙染問（wèn）題。我公司自（zì）行設計的全封（fēng）閉式清洗裝置可完美解決二次汙染；

6、設計出高壓堿液和清水的供給和（hé）分開回收裝置，並（bìng）進行（háng）淨化（huà）使後序清洗水用於前序的漂洗（xǐ）工序，充分利用（yòng）了廢水資源。

實際使用證明，北京（jīng）www.91潔（jié）清潔設備有限（xiàn）公司研發生產（chǎn）的多晶矽自動化還原爐鍾罩清洗係統有效解決了生產中的實際問題，為公司節能降耗提供了有利條件，適用於在（zài）全國範圍推廣應用。