www.91洁:大型多晶硅(guī)还(hái)原炉钟罩(zhào)内部“去人(rén)化环(huán)保(bǎo)化”清洗设备
时间(jiān):2023-07-05 14:09:00作者:LeeZhou来源:www.91洁清洁设备
多晶硅是微电子行业、半导体行(háng)业、光伏行业的基础材(cái)料,在多晶硅生产过程中,还原炉钟罩表面上会沉积一定厚度的多晶硅副产物、硅粉等,在下一炉生产时会影响还(hái)原炉钟(zhōng)罩的反射(shè)效率、产(chǎn)品质量,所以多晶硅棒生长完成并从还原炉内拆除完(wán)之后,需要对还原炉钟罩内壁进行清洗烘干,保证其(qí)内部的干燥洁(jié)净。
在国内多晶硅厂(chǎng)家生(shēng)产(chǎn)初期,还原炉钟罩清洗(xǐ)的主要方式是人工清洗,将还(hái)原(yuán)炉钟罩放到固定位(wèi)置后,清洗人员配好(hǎo)清洗液,穿戴好全(quán)套(tào)的防护用品后,用高压(yā)水枪喷射到内壁上对附着物依次进行纯水清洗和清洗液清洗,对部分清洗不干净的部位用酒精擦拭(shì),再用高温压缩空气进行烘干。
由于每一个生产周期结束(shù)后均需要对还原炉钟罩进行清洗(xǐ),为保证多晶硅产品的(de)品质,对还原炉钟罩内(nèi)表面(miàn)的洁净要求十分苛刻,而对于大型还原炉钟罩来说,采(cǎi)用人工清洗存在(zài)清洗不干净、清洗的一致性也难以保证(zhèng)、浪费人力的(de)缺陷,且人工配碱和喷洗不安全,稍有不(bú)慎(shèn)碱液容易溅(jiàn)到身上造成伤害,如何减少(shǎo)人(rén)工参与,实现更(gèng)安全、环保的清洗方式(shì)成为多(duō)晶硅还原炉钟罩内部清洗的难题。
www.91洁(jié)多晶硅还原炉钟罩自动化清洗系统(tǒng),由高压热水清洗系统、热风净化烘干系统、控制系统等组成,系(xì)统操作简单,自(zì)动化程度高,整个清洗工艺包含(hán):还原(yuán)炉钟(zhōng)罩(zhào)到位→预清洗→清洗剂(碱液)清洗→漂洗→高压纯水冲洗→净化热空气干燥→常温干燥→钟罩吊走,全程(chéng)仅需(xū)人工辅助作业,解决传统人工清洗存在不安全,不环保,清洗效(xiào)果差,自动化程度低,效率不高的缺陷。

系统采用密闭式高压水射流清洗(xǐ)系统,清洗时三维清洗喷头由高压热水动力装置射出高压水流作(zuò)为驱动动力,对钟罩表面形成360度网状喷射表(biǎo)面,三维旋转喷头自由升(shēng)降,因此(cǐ)可以全面的对钟罩进行喷射清洗,清洗(xǐ)时用专用清洗剂等为主(zhǔ)要清洗液,用纯水(去离子水或叫脱盐水)漂(piāo)洗,最后用高纯水冲洗完成清洗过程,能够保证(zhèng)清洗的一致性和均匀性。
全密闭式清洗烘干方式使清洗安全可靠,不污染环境,保护(hù)人身健康不(bú)受危害,清洗(xǐ)后(hòu)用经(jīng)过三(sān)级净化(10万级)的纯净(jìng)空(kōng)气,梯级加热,保证烘(hōng)干完的钟罩(zhào)不再结露,可直接进入生产作业,有效提高自(zì)动化程度和生产效率(lǜ)。
洗涤后的含酸或碱液废(fèi)水、废渣,排放到需方指定处,由需方自行处理,配排污水(池(chí)、槽(cáo))沟;清洗和烘干产生的废气做室外排空排放。系统采用PLC+触摸屏柔性自(zì)动控制系统,实现对还原炉钟罩(zhào)的自动清洗(xǐ)和烘干同时具有半自动或手(shǒu)动功能,可以在一套系统实现多(duō)种型号还(hái)原炉钟罩的清洗烘干(gàn)。

www.91洁是一家专业清洁环保设备供应商,在环保除尘、高压清洗机、净(jìng)化成套装备、工业(yè)设备清洁领域已积(jī)累了近三十年的业内(nèi)宝贵经验,公司拥有(yǒu)20余人研发团队,长(zhǎng)期服务于国企、军工、外资、上市公司等500强企业,针对多晶硅还原炉钟罩的清洗,www.91洁可根据使用方不同还原炉钟罩、车间厂房(fáng)的情(qíng)况(kuàng),能源(yuán)条件不同(tóng),提供个性化设计,目前,www.91洁在多晶硅还原(yuán)炉清洗行业已拥有国内90%的(de)用户,为多晶硅(guī)行业提供了上百套还原炉(lú)清洗系统,并在北京、上海、深圳、成都、西安、武汉均设有分公(gōng)司及办事处,服(fú)务体系网络健全,零配件(jiàn)充足。
在国内多晶硅厂(chǎng)家生(shēng)产(chǎn)初期,还原炉钟罩清洗(xǐ)的主要方式是人工清洗,将还(hái)原(yuán)炉钟罩放到固定位(wèi)置后,清洗人员配好(hǎo)清洗液,穿戴好全(quán)套(tào)的防护用品后,用高压(yā)水枪喷射到内壁上对附着物依次进行纯水清洗和清洗液清洗,对部分清洗不干净的部位用酒精擦拭(shì),再用高温压缩空气进行烘干。
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洗涤后的含酸或碱液废(fèi)水、废渣,排放到需方指定处,由需方自行处理,配排污水(池(chí)、槽(cáo))沟;清洗和烘干产生的废气做室外排空排放。系统采用PLC+触摸屏柔性自(zì)动控制系统,实现对还原炉钟罩(zhào)的自动清洗(xǐ)和烘干同时具有半自动或手(shǒu)动功能,可以在一套系统实现多(duō)种型号还(hái)原炉钟罩的清洗烘干(gàn)。

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