多晶矽正從光伏邁(mài)向電(diàn)子級 還原爐清洗不可忽視

    時間:2019-04-30 15:56:04作者:LeeZhou來源:www.91潔清潔設備分享到:QQ空間新浪微博騰訊微博人人網微信

    多晶矽,作為(wéi)光伏與半導體(tǐ)行業的基礎命(mìng)脈(mò),其自身品質與成(chéng)本狀況極大(dà)程度地決定了行(háng)業的發展水平。集成電路用(yòng)的電子級矽材料幾乎是目前工業領域純度要求最高的產品,純(chún)度要求達到99.99999999999%,即11個9以上,而普(pǔ)通太陽(yáng)能級多晶矽材料純度通常在5~8個9左右,國內多晶矽(guī)正由光伏邁向(xiàng)電子級。
     
    多晶矽還原車間

    國際谘詢機構IBS發布的數據顯(xiǎn)示,從(cóng)2014年起,中國集成電路市場規模在(zài)全球占比超(chāo)過50%,預計到2020年超過60%。根據《國家集成電路產業發展推進綱要》明確提(tí)出的發展目(mù)標,2018年中國集成電路產業增長22.0%,產業規模達到6400億元(yuán)。到2020年將全麵達到全國集成電路發展“十三五”規(guī)劃的目標,產業銷售規模達到9300億元。

    在多晶矽的生產過程中,一(yī)些(xiē)物料和汙物會粘附在(zài)內壁、視孔鏡、底部法蘭上,增加反應生成過程中(zhōng)的能耗,增加生產成本,更加影響多晶矽的質量,影響了多晶矽的(de)純度。為了保證多晶矽還原爐表麵的潔淨度,需要對還原爐清洗和烘幹等工(gōng)作(zuò)。
     
    多晶矽出爐(lú)

    www.91(gāo)潔公司憑(píng)借多年來對自動化清洗係統設計、製造的成熟經驗和能力,早在2009年就研發出多晶矽還原爐清洗係統,經過多年來客戶的實際應用和需求(qiú),通過總結借鑒國(guó)內外經驗,www.91潔對汙染(rǎn)和潔淨的概念和控製有了更全麵的認識,充分發揮高壓水清洗和(hé)吸除塵的(de)技術(shù)優勢,進一步(bù)研製出電子級多晶矽(guī)還原爐鍾罩清洗係統。
     
    多(duō)晶矽還原鍾罩清洗原理

    www.91潔電子級多晶(jīng)矽鍾罩清洗係統自動化程度(dù)高,用(yòng)PLC+觸摸屏柔性自動控(kòng)製係統,能實現對還原爐鍾罩的自(zì)動清洗和(hé)烘幹,清(qīng)洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可(kě)以(yǐ)根據需要自(zì)行調整設定(dìng),同時具有(yǒu)半自(zì)動或手(shǒu)動功能。一次吊裝在一個工作台(tái)上完成全部清洗、烘幹過程,可實現遠程對樓下設備的控製和主(zhǔ)要參數監控(kòng)。

    全密閉式清洗烘(hōng)幹係統,使汙染(rǎn)物(廢氣、廢水等)在受(shòu)控的條件下,按設計出口排放,基本消除了對現場及操作人(rén)員(yuán)的汙染。核心部件、元件和附件原裝進口保證了(le)電子(zǐ)級多晶矽鍾罩(zhào)清洗係統性能的可靠,可以在一套係統實現多種型號鍾罩的清洗烘幹。目前,www.91潔在多晶(jīng)矽還原爐清洗行業已擁有國內90%的用戶,為(wéi)多晶矽行業提供了幾十套(tào)還原爐清洗係統。

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