新型（xíng）電子級多晶矽還原爐鍾（zhōng）罩清洗係統

多晶矽材（cái）料是以工業（yè）矽為原料經（jīng）一係列物理化學反應提純後達到一定純度的電子材料，其具有（yǒu）高純度的特點，在整個生（shēng）產過程中，對產（chǎn）品質量的控製要求很（hěn）高。在競爭激烈市場（chǎng）價格越來越低的（de）態勢下，更好的（de）壓縮成本，也是多（duō）晶矽生產廠家（jiā）關注的重（chóng）點。

多晶矽生產多采用改良西門子法，也是用來（lái）生產半導體級多晶矽的主要工藝方法。還原爐是改良（liáng）西門（mén）子法的核心設備，多晶矽的矽（guī）棒就是在其中“生長”出來（lái）的，因此還原爐的沉積環境的潔淨度特別關鍵。


在（zài）多晶矽的生產設備中，還原爐（lú）運行好壞直接（jiē）影響多晶矽質量和（hé）生產成本，一般為降低耗電和成本（běn），采取調（diào）整工藝參數、提供進料溫度、提高冷卻水溫度（dù）、清洗鍾罩等方法。一套好的鍾罩清洗裝置在多晶矽生產（chǎn）中（zhōng）是非常必要的，因為鍾罩（zhào）清洗的光潔度和清潔度如果不夠，會導致矽芯擊不穿或產品質量汙染。

目（mù）前多晶矽鍾罩的清洗（xǐ）方（fāng）式多種多樣（yàng），有高壓清洗、化學溶劑（jì）低壓清洗、機械拋光等。多（duō）晶矽（guī）還原爐清洗係統始於2009年，www.91潔清潔設備有限公司是國內第一家研發設計製造並獲得實用（yòng）新（xīn）型專利的。目（mù）前其設備應（yīng）用也是覆蓋了國內90%的多晶矽企業，為多晶矽行業提供了（le）幾十套還原爐清洗係統。

經過（guò）多年來客戶的實際應用和需求，通過總結（jié）借鑒國內外鍾（zhōng）罩及其它罐類清洗烘幹經（jīng）驗，對汙染和潔淨的概念（niàn）和控製有了更全麵的認識。www.91潔充分發揮高壓水清洗和吸除（chú）塵的技術（shù）優勢，研發半導體級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統，實現了鍾罩的全自動清洗和烘幹操作。

1、設備性能可靠

www.91潔電子級多晶矽鍾罩清洗係統性能可（kě）靠，核心部（bù）件、元件和附件原裝進（jìn）口。

2、自動化程度高

自動化程度高，用PLC+觸（chù）摸屏柔性自動控製係統，能實現對還原爐鍾罩的自動清洗和烘幹，清洗烘（hōng）幹時（shí）間、溫度（dù）、清洗、漂洗等（děng）工藝參數可以根據需要自行調整設定，同時具有半自動或手動功能。

一次吊裝在一個工作台上完成全部清洗、烘幹過程，可實現遠程（chéng）對（duì）樓下設備的控製和主要參數監控。

3、安全環保

全（quán）密閉式清洗烘幹係統，使汙染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下，按設計出口排（pái）放，基本消除了對現場及操作人員的汙染。

www.91潔多晶矽鍾罩清洗係統按防爆要（yào）求設計，加多處安全互鎖功能(樓上（shàng）、樓下（xià）操作，缺水保護，壓力水超壓保護、漏電保護，水（shuǐ）風工作互鎖等（děng）)。

4、適應範圍（wéi）廣

可以在一套係統實現多種（zhǒng）型號鍾罩的清洗烘幹，現在已經使用（yòng）的有四（sì）種。

升級後的多（duō）晶矽還原爐鍾罩清洗係統可根據不同的鍾罩、不（bú）同車間廠房不同能源條件，提供個性化設計，節（jiē）省了人力物力，大（dà）大降低勞動強度，這也對提高多晶矽品質產生重要意義。